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硅烷燃燒筒
技術工藝
  • 工作原理

    硅烷與壓縮空氣接(jie)觸而自燃或發生氧化反應,生成二(er)氧化硅粉塵

  • 應用場景

    采用硅烷燃(ran)燒筒+防爆除塵器+洗滌塔處理光伏電(dian)池生產(chan)過程中PECVD尾(wei)氣(qi)中含有的(de)硅烷和(he)氨氣(qi)

  • 專利號

    ZL 2018 2 0899876.8

技術特點

運行(xing)效率(lv)高、安(an)全防爆運行(xing)可靠

在線清灰、運(yun)行維護(hu)簡(jian)單方便(bian)

主體(ti)不銹鋼材質、經久耐用(yong)

內部(bu)燃燒(shao)室(shi)結構可適應生產(chan)負荷(he)變化

應用領域
適用于(yu)光伏、半導體行業硅(gui)烷尾(wei)氣