工作原理
硅烷與壓縮空氣接(jie)觸而自燃或發生氧化反應,生成二(er)氧化硅粉塵
應用場景
采用硅烷燃(ran)燒筒+防爆除塵器+洗滌塔處理光伏電(dian)池生產(chan)過程中PECVD尾(wei)氣(qi)中含有的(de)硅烷和(he)氨氣(qi)
專利號
ZL 2018 2 0899876.8
運行(xing)效率(lv)高、安(an)全防爆運行(xing)可靠
在線清灰、運(yun)行維護(hu)簡(jian)單方便(bian)
主體(ti)不銹鋼材質、經久耐用(yong)
內部(bu)燃燒(shao)室(shi)結構可適應生產(chan)負荷(he)變化